使用注意事项:为了得到较好的金属膜,特别是针对易氧化的金属,如Al, Mg和Li等,必须通入高纯惰性气体(> 5N)
强烈建议采用PPM极的气体净化系统(将钢瓶中的惰性气体通过净化系统过后,再导入到真空腔体内)
我们也可在设备中安装射频(RF)电源,用于溅射非导电靶材,来制备非金属薄膜
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VTC-2DC直流等离子磁控溅射镀膜仪
详细信息 直流等离子磁控溅射镀膜仪是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。
使用注意事项:为了得到较好的金属膜,特别是针对易氧化的金属,如Al, Mg和Li等,必须通入高纯惰性气体(> 5N)
强烈建议采用PPM极的气体净化系统(将钢瓶中的惰性气体通过净化系统过后,再导入到真空腔体内)
我们也可在设备中安装射频(RF)电源,用于溅射非导电靶材,来制备非金属薄膜
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